超純水設備之---電子(zǐ)行業(yè)
電子(zǐ)行業為什麽要用到超純水設備(bèi)?
去離子水/超純水在電子工業主要是線路板、電子元器件生產中的重要作用日益突出,去離子/超純水水質已成為影響線路板、電子元器件產品質量、生產成品率及生產成本的重要因素之一,水質要求也越來越高。在電子元器件生產中,去離子水/超純水主要(yào)用作清洗用水及用來配(pèi)製(zhì)各種溶液、漿料,不同的電子元器件生產中純水的用途及對水質的要求也(yě)不同(tóng)。
在晶(jīng)體管、集成電路生產中,超純水主要(yào)用(yòng)於清(qīng)洗矽片,另有少量(liàng)用於藥液配製,矽片氧化的水(shuǐ)汽源,部(bù)分設備的冷卻水,配製電鍍液等(děng)。集成電路生產過程中的80%的工序需要使用(yòng)高純水清(qīng)洗矽片,水質的好(hǎo)壞與(yǔ)集成電路的產品質量及生產成品率(lǜ)關係很大。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結耐壓降低,Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)會使N型半(bàn)導體特性惡化(huà),Ⅴ族元素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性惡(è)化,水中(zhōng)細菌高(gāo)溫碳化後的(de)磷(lín)(約占灰分(fèn)的20-50%)會使P型矽片上的局部區域變(biàn)為N型矽而導致器(qì)件性能變壞,水中的顆粒(包括細菌)如吸附在矽片表(biǎo)麵,就會引起電路短路或特(tè)性變差。集成電路生產(chǎn)對純水水質的要求
對純(chún)水水質的(de)要求
電(diàn)子超純水設備是保證電子 產 品 質量 安 全 促進電子業健康運行的依據,電子超純水設備適用集成電路生產(chǎn)中高(gāo)純水清洗矽片、半導體材(cái)料(liào)、晶元材料生產、加工,純水一號(hào)的電子工業設備廣泛的用於在(zài)電子業中,而(ér)且在(zài)電子(zǐ)業中的地位更是(shì)蒸蒸日上成為業內發展的主導者。
電子行業超純水
目前我國電子工業部(bù)把電子級水質技術(shù)分為五個行業等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。半導體、集成電路(lù)芯片及封裝(zhuāng)、液晶顯示、高精度線路板、光(guāng)電器件、各種電子器(qì)件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量(liàng)的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對(duì)水質的要求也越高
電子行業超純水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什麽雜質,更沒(méi)有細菌、病毒、含(hán)氯二惡英等有機(jī)物,當然也沒有人(rén)體所需的礦物(wù)質微量元(yuán)素。超(chāo)純水,是一般工藝很難達到(dào)的程度,如(rú)水的電阻率大於18MΩ*cm,接近於18.3MΩ*cm則稱為超純水。目(mù)前,超純水設備的方法通常采用反滲透,去離子(zǐ)或電去離子(EDI)等工藝。